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真空泵机组的抽气理论

时间:2018-01-10 浏览:
         真空泵机组是一种无内压缩的旋转变容式真空泵机组,它是由罗茨鼓风机演变而来的,真空泵机组目前在真空系统中已经得到了广泛的应用。由于在较宽的压力范围内有较大的抽速,且泵腔内无油,至今在半导体、光伏、电子、石油、化工等行业仍在大量的应用中。随着新兴产业的蓬勃发展和传统行业的产业升级。
         真空泵机组的研发需要向高效率、高集成度、空间节约、智能化和高可靠性的方向发展,适应不同工艺的苛刻需求。三轴罗茨真空泵机组,正是在传统的双轴罗茨真空泵机组基础上,在主动转子轴两侧各集成了一套从动转子,两侧同时进行吸气或排气的工作过程。与双轴罗茨泵相比,具有受力均衡、运转平稳、抽速大、噪音低、零流量压缩比高等优点。本文详细介绍了这种三轴罗茨真空泵机组的抽气过程和工作原理,并给出一种典型的四叶圆弧型转子的型线方程,通过理论推导和有限元分析,对三轴罗茨转子轴进行了强度分析和变形模拟,并与双轴罗茨真空泵机组进行比较。
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