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离子镀镀膜机真空泵机组的设计

时间:2019-04-18 浏览:
          真空泵机组用物理的方式将所需要镀制的材料气化或电离形成分子原子离子这些离子通过真空泵机组不同的方式达到衬底的表面并在衬底表面上堆积形成一层具有特性能的薄膜材料的薄膜制备技术真空系统是真空镀膜设备中不可或缺的重要组成部分物理气相沉积技术的首要条件就是该技术的整个工艺过程都是在高真空中进行的这包括物质的离化溅射沉积等过程因此为制得综合性能良好的薄膜材料真空系统发挥着重要作用形成薄膜要经历四个过程:临界晶核的形成岛的形成岛的长大与连合沟道薄膜以及连续膜的形成开始一些中性原子或分子吸附在基材表面上原子在表面上。
         不断扩散相遇的原子聚合在一起最终形成大小原子团从而开始了形核阶段亚稳的临界核形成后进一步长大变成小岛入射能量越高则越有利于薄膜表面原子的扩散从而有利于生成连续膜从热力学的角度分析入射原子的能量越高有利于形核速度的提高这主要是因为高能量的原子在撞击基体表面时一部分动能转化为热能使基体局部温度升高损失部分能量后原子剩余的动能还能在表面进行迁移加热系统主要是给真空室提供热源对真空室加热保证基体温度有利于沉积原子在基体表面扩散促进薄膜的形成真空室内工件架接负极靶材接负极真空室壳体接地正离子可以更强地轰击靶材溅射出更多的靶原子利于沉积。
 
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