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真空泵机组冷系统

时间:2018-01-16 浏览:
          真空泵机组在此工况下的罗茨泵,气体温度要远远高于室温,由于泵腔有水冷系统的存在,真空泵机组取气体工作时的温度60℃。间隙的总面积A由以下几部分组成:转子与泵壳间隙δ1,转子与转子间隙δ2和转子与泵壳侧壁间隙δ3、δ4。经过计算三轴罗茨泵其零流量压缩比为K0=8.4,对于双轴式罗茨泵其K0=6.1。由此可以看出,三轴式罗茨泵的零流量压缩比明显高于双轴式罗茨泵的,大约高出37.7%。这是因为与双轴式罗茨泵相比,三轴式罗茨泵的抽速sth较间隙流导C增加得很快。值得注意的是罗茨泵的零流量压缩比与前级压力有关,前级压力的大小决定了泵工作在何种流态。上述零流量压缩比计算针对于粘滞流态,当前级压力降低,其会向分子流态过渡,返流减少,零流量压缩比势必会增大。
          基于有限元分析方法,对三轴罗茨泵的转子体做强度分析,并与双轴式罗茨泵做比较。如图 5 所示,为待分析的三轴转子体系统。将模型导入 ansys中,对其自由划分网格并指定材料,采用精度较高的20 节点 SOLID186 单元划分网格。对转子体施加轴承约束,一端固定(固定端),另一端径向固定,轴向自由(游动端)。
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