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真空泵机组的配置

时间:2018-04-04 浏览:
             真空泵机组不同的真空零碎要求的真空度不同。因而往往必需由一套真空机组来完成,即由任务在不同压力范围的真空泵串接起来。高真空一侧的真空泵能到达零碎要求的真空度,而低真空一侧的真空泵是直排大气的。真空泵机组显然最复杂的真空机组就是一台直排大气的真空泵。但高真空零碎普通需求三级机组,中真空普通需求二级机组。一台高真空泵和一台低真空泵难于组成无效的高真空机组。这有几方面的缘由。流量的延续性就是其中之一。高真空泵都有前级耐压的限制,即前级高于某一压力,泵就不能正常任务。而以后级泵到达这一临界压力时,往往抽速会减小,这样前级泵的排气流量能够会小于主泵的排气流量,这种流量的不分歧毁坏了流量延续性的要求,必定会惹起真空机组不能正常任务。但如在上下真空泵之间再衔接一台中真空泵,便可起到承上启下的作用,流量延续,而且各泵皆可任务在最佳形态。罗茨泵能任务在中真空范围,是最合适的,故又称罗茨增压泵,由于其紧缩比不高,正好可衔接几Pa至几百Pa的范围。
            当三级高真空机组进入较高的真空度时,由于主泵的排气流量分明增加,此时仅靠一台较小的前级泵便可维持抽气的延续性,在实践运用中这是常常采用的办法,这样可增加机组的能耗。高真空机组往往需求三级机组的另一个缘由归结于高真空泵的吸入压力的限制。泵都有起始任务压强,传统的高真空泵都在几Pa的范围。因而前级泵必需预抽到这一压力主泵才干开端任务。但直排大气的前级泵抽至这一压力往往需求较长的工夫,由于随着压力降低泵的抽速在减小,特别是关于周期性抽气的真空机组,对到达任务真空度的工夫是有要求的,预抽工夫越长,进入任务真空度的工夫也越长,故添加一台中真空泵与前级低真空泵配合,可在较短的工夫到达主泵可以任务的压力,这样可以使零碎尽快地进入任务压力,保证了设备的运用效率。

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